阻止玻璃碎片飞溅：在红外干燥过程中保护晶圆不受污染
在MEMS传感器制造过程中，红外灯的故障简直就是一场灾难。这不仅仅是零件损坏的问题，而是一种全面的破坏。想象一下，当石英管在高压作用下破裂时，玻璃碎片和钨丝会直接掉落在晶圆上。一旦发生这种情况，整批晶圆都会被毁掉。之后，还需要拆除整个反应室来清理残骸。
为什么这些灯会损坏呢？
通常，这是由于热冲击或局部过热导致的。如果玻璃的膨胀不均匀，就会产生裂纹。就这么简单。
为了解决这个问题，我们使用高纯度的合成石英材料，因为这种材料能够承受快速的功率变化。同时，我们还会注重灯丝的中心定位以及气体填充情况。因为这样可以让热量均匀地分布在管壁各处。只有这样，玻璃才能保持完好无损。
增加安全保障措施
我们不会仅仅依赖石英材料的耐久性，因为那是一种冒险的做法。相反，我们会采取额外的防护措施。我们使用特殊的套管和涂层，来防止碎片飞溅到晶圆上。即使灯真的烧坏了，碎片也会被限制在壳体内，不会影响到晶圆。
此外，我们还非常注重连接器的质量。如果连接器连接不牢固，就容易导致电弧现象，而电弧会产生金属粉尘，进一步污染晶圆。因此，我们必须确保连接紧密，且所用材料能够承受特定电压。
平衡之道
在高密度红外加热系统中，其实处处都是权衡的问题。如果你希望加快干燥速度，就需要在更小的空间内提供更高的功率。但更高的功率意味着石英材料要承受更大的压力。如果你选择高功率方案来提高效率，那就必须确保冷却气流能够得到有效控制。如果管子两端无法保持低温，密封部件就会过早失效。
虽然我们提供了热量，但最终决定灯泡使用寿命的还是系统的热管理能力。