为什么我们在晶圆传输加热器中使用黄金涂层
在洁净室中搬运晶圆时，温度至关重要。如果温度过低或波动过大，就很容易导致晶圆受到污染或出现热冲击现象。这显然不是开始一天的好方式。 为避免这种情况，我们使用了镀金反射器。虽然听起来很高端，但实际上这只是为了提高效率而已。我们希望热量能够直接作用于晶圆上，而不是浪费在加热器的结构上。 黄金与热能的关系 大多数人会认为应该用铝作为反射材料，但实际上，铝会吸收大量红外能量。而黄金则不同——它能够将长波红外辐射有效地反射回去。 使用黄金的目的并非为了让设备看起来更昂贵，而是为了确保热量能够准确传递到需要加热的位置。每消耗一瓦特的电能，都能发挥其应有的作用。 找到最佳平衡点 你可能会想：“为什么不直接增加功率呢？” 当然，那样可以让晶圆更快升温。但这样会给电源带来很大压力。此外，如果将过多热量集中在一个小区域内，晶圆上就会出现局部过热的情况，这无疑会影响晶圆的质量。 我们需要花大量时间来调整反射器的形状以及涂层的厚度，这样才能确保热量均匀地分布在整个晶圆上，避免出现意外情况。 关于维护的几点说明 好消息是，黄金具有化学稳定性。在洁净室环境中，这一点非常重要，因为无需担心黄金会释放出有害气体。 不过，黄金的质地较软。如果维护人员使用粗糙的清洁工具来清理这些加热器，那么黄金涂层就会被刮掉。一旦黄金涂层被破坏，加热器的效率就会大幅下降。这些加热器是为精确控制温度而设计的，不适合用粗糙的方法进行清洁。只要使用合适的溶剂来保持其清洁，它们就能继续正常工作。