掺杂剂激活红外加热器

在工厂里，温度控制是一条不可逾越的底线。在掺杂处理之后，必须让晶圆达到规定的激活温度，而且温度分布必须非常精确。如果做不到这一点，那么晶圆的电阻值就会发生变化，进而导致器件良率下降。 传统的加热方式会导致温度分布不均以及时间延迟，从而使工艺窗口变得很窄。 关键在于内部设计 我们采用了短波卤素灯作为...