晶圆固化灯用反射器

防止晶圆固化系统变成“烤箱” 红外灯的问题在于：它们会将热量向各个方向散发——360度无遗漏地辐射热量。在半导体制造过程中，那些没有照射到晶圆上的热量实际上都是浪费。更糟糕的是，这些多余的热量无处可去，只能撞击到机器的内壁。我们见过太多这样的情况：机器的机壳变得异常烫热，甚至可能造成灼伤风险。这显...