洁净室设备升级中
为什么我们正在放弃半导体加工中的热空气加热方式 如果你曾经花时间升级过净化室内的设备,那么你一定了解热空气加热所带来的麻烦。这一过程始终显得十分缓慢。
大多数传统的工厂仍然依赖热空气循环来加温。但问题在于,这种做法其实需要两步:先加热空气,再希望热量能渗透到芯片中。这个过程既慢又浪费资源。当需要按...
洁净室工作台红外灯
当化学品具有挥发性时,如何确保其安全?
如果在洁净室中使用红外灯,尤其是那些与易燃清洁剂一起使用的场合,那就绝不能随便使用普通的加热器。因为这里涉及到挥发性有机化合物,一旦有火花产生或表面温度过高,就可能会引发严重的问题。
因此,我们非常重视灯具的构造以及所使用的材料。
“封闭式设计”
我们不会让...
洁净室红外加热器
防止碎片飞溅:保护晶圆免受损坏 在大规模半导体生产过程中,红外灯的破损无疑是个大问题。这不仅会导致生产中断,还需要花费大量时间进行清理工作。更严重的是,破碎的玻璃碎片和卤素气体可能会对晶圆造成破坏。一旦发生这种情况,整批晶圆就报废了。因此,我们设计了专门的加热器,旨在在故障发生之前就将其消除。
应...
半导体洁净室推车式加热器
为什么我们在晶圆传输加热器中使用黄金涂层 在洁净室中搬运晶圆时,温度至关重要。如果温度过低或波动过大,就很容易导致晶圆受到污染或出现热冲击现象。这显然不是开始一天的好方式。 为避免这种情况,我们使用了镀金反射器。虽然听起来很高端,但实际上这只是为了提高效率而已。我们希望热量能够直接作用于晶圆上,而...
洁净室烤箱红外线加热器
在半导体洁净室中,红外加热与热空气循环哪种方式更佳?
在为半导体深度加工选择炉子时,需要考虑的是如何传递能量。热空气加热依赖的是基板的边界层——先加热空气,再由空气来加热基板。不过这种方式效率较低。而红外加热则无需经过中间环节,它通过电磁辐射直接将能量传递到工件上。
时间成本的问题
在半导体制造过...
老年人用取暖器
当我们着手为老年人房间设计加热器时,始终坚持三个核心原则:必须快速加热房间,不能占用过多地面空间,并且必须稳定可靠——日复一日,无需额外维护。
这些加热器的核心部件是卤素红外管。这不仅仅是“灯泡”的花哨说法,而是一种严肃的热源,设计用于直接加热人体和家具,而不是浪费能量加热空气。
关于功率方面:我...