晶圆加热的安全距离

使用红外灯加热晶圆时的安全措施 说实话，将高温红外灯与易燃溶剂放在一起，无疑会导致严重的安全隐患。在晶圆制造过程中的化学清洗阶段，最不希望看到的就是让点火源靠近易爆的蒸汽。 我们找到了更好的处理方法：不再使用开放式灯泡，而是将它们包裹在特殊的封装结构中。 找到最佳位置 在确定灯泡的放置位置时，需要...