使用红外灯加热晶圆时的安全措施
说实话，将高温红外灯与易燃溶剂放在一起，无疑会导致严重的安全隐患。在晶圆制造过程中的化学清洗阶段，最不希望看到的就是让点火源靠近易爆的蒸汽。
我们找到了更好的处理方法：不再使用开放式灯泡，而是将它们包裹在特殊的封装结构中。
找到最佳位置
在确定灯泡的放置位置时，需要权衡各种因素。如果灯泡放置得太近，晶圆上就会出现“热点”，这显然不好。但如果距离太远，则会影响加热效率，进而延长加工时间。
为了解决这个问题，我们将发热元件置于由蓝宝石或耐化学腐蚀的石英制成的密封外壳中。这相当于一个物理屏障，能够防止灯泡产生的电弧接触到周围的空气。这样一来，即使发生化学品泄漏，也不会引发火灾。
确保长期稳定运行
稳定性至关重要。我们采用镀层石英或双壁结构，因为热冲击会严重损害灯泡。当清洁液的温度发生变化时，普通的灯泡很容易破裂。此外，这种密封结构还可以防止湿气和有害腐蚀性气体的进入。通常，灯泡的故障都是因为电极被腐蚀所致。而这种设计则可以避免这种情况发生。
需要权衡的代价
不过，这样做也有缺点。由于有了保护外壳，灯泡产生的热量会有所减少。虽然减少的量不大，但外壳确实会吸收一部分能量，使得热量无法充分传递到晶圆上。如果你希望保持理想的加热速度，就需要调整电源输出来弥补这一损失。
最后一点：千万不要忽视气流问题。即便使用了这种密封式灯泡，仍然需要良好的排气系统来确保溶剂浓度保持在安全范围内。安全永远是第一位的。