TEL 东京电子 加热灯

在光刻工序中，光阻的烘干效果直接决定了线宽控制的精度。无论是软烘还是硬烘，只要温度偏差达到1°C，就会立即导致CD值的变动；而哪怕只有一个颗粒存在，都可能毁掉整片晶圆。TEL加热灯的设计初衷就是适应这种实际情况，而非试图与之抗争。 真正重要的因素 该加热灯能够确保整个晶圆上的温度均匀性在...