MEMS传感器晶圆干燥加热器
阻止玻璃碎片飞溅:在红外干燥过程中保护晶圆不受污染
在MEMS传感器制造过程中,红外灯的故障简直就是一场灾难。这不仅仅是零件损坏的问题,而是一种全面的破坏。想象一下,当石英管在高压作用下破裂时,玻璃碎片和钨丝会直接掉落在晶圆上。一旦发生这种情况,整批晶圆都会被毁掉。之后,还需要拆除整个反应室来清理...
用于晶圆的精密红外传感器
在晶圆加工过程中减少碳排放(无需为此操碎心)
目前,所有的半导体工厂都面临着实现零碳排放目标的压力。但实际上,大量能源被浪费在了晶圆加热和固化过程中产生的热量上。
传统的加热方式——使用大型对流式烤箱——就好比试图通过加热整个厨房来加热一颗豌豆一样,这种做法会造成巨大的能源浪费。我们找到了更好的方...
晶圆加工工具用温度传感器
为何我们选择红外加热技术来处理晶圆 如今,大家都在谈论碳中和的问题。在半导体行业中,这意味着我们必须重新思考如何为晶圆加热。传统的加热方式——使用大型电阻炉——就好比为了加热一片披萨而让整个房子都处于高温状态,这显然是浪费资源的行为。
因此,我们转而采用红外加热技术。这样一来,就不必让整个腔室都处...
氢气传感器制造用加热器
为什么电流泄漏会毁掉氢气传感器?以及我们如何避免这种情况 在制造氢气传感器时,要让催化剂层正常工作,关键就在于控制温度。必须保持精确的温度控制,否则整个传感器就无法正常工作。我们会努力确保加热器能够达到严格的性能标准,但实际上,让我夜不能寐的并不是温度问题,而是电流泄漏问题。
试想一下:如果绝缘层...