停止给墙壁加热吧——把热量集中在晶圆上才对。 说实话，在半导体制造厂里，无法控制的温度简直就是一场噩梦。如果你使用的是传统的对流式加热器或全方位加热器，那你肯定已经注意到这个问题了：热量并非只作用于晶圆上，而是会扩散到整个腔室中。这样一来，腔室的内壁就会变得极其灼热。这不仅浪费了能源，还会对在机器...

在污染发生之前就加以预防 说实话，当高负荷半导体生产线上的红外灯突然损坏时，那简直就是一场灾难。 问题不仅仅在于加热器停止工作而已。一旦石英管破裂，玻璃碎片和化学物质就会溅到晶圆表面，导致整个批次的晶圆都变得无法使用。 我们花了大量时间来研究如何从源头上避免这种情况的发生。 应对热量与压力 通常，...

为什么我们要在无铅半导体生产中使用红外线技术 在半导体领域，人们一直在努力实现“绿色”和“无铅”的生产标准。长期以来，人们通常使用对流式烤箱来烘干晶圆或固化粘合剂——其实，那不过是一种效率低下的方式罢了。 实际上，那样做纯粹是浪费资源。因此，我们选择了短波红外线技术。与其依赖热空气，我们不如直接利...