工厂干燥系统的能源审计

停止给墙壁加热吧——把热量集中在晶圆上才对。 说实话，在半导体制造厂里，无法控制的温度简直就是一场噩梦。如果你使用的是传统的对流式加热器或全方位加热器，那你肯定已经注意到这个问题了：热量并非只作用于晶圆上，而是会扩散到整个腔室中。这样一来，腔室的内壁就会变得极其灼热。这不仅浪费了能源，还会对在机器...