用于光刻机的石英玻璃防护罩

红外加热与强制空气加热：哪种方式更适合您的工厂？ 如果您仍在使用热风循环的方式来对半导体进行深度加工，那您很可能要花费大量时间来等待温度上升。想想看，使用强制空气加热时，实际上是为了让整个房间都变热，才能让那块小小的晶圆达到合适的温度。这种方式速度很慢，而且效率低下。还会出现温度波动的情况，让人不...