在300毫米光刻生产线中，光刻腔室可谓是整个生产流程中的核心部分。如果AHU中的加热器出现偏差，那么烘烤过程的参数也会随之改变——而此时，缺陷检测系统还无法发现任何问题。我们设计的空调加热模块旨在确保晶圆所在区域的热环境保持稳定。 关键在于控制温度的均匀性 我们努力将供气流中的温度均匀性控制在...

在工厂车间里，所谓的“软烘烤”和“硬烘烤”，其实并非单纯的温度控制步骤，而是对温度精度的控制。哪怕温度偏差仅1摄氏度，就可能会影响到产品的关键尺寸要求；而局部过热则可能直接导致产品报废。因此，我们设计了分区式红外加热模块，从而避免在温度控制上出现误差。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们使用具有...