芯片实验室用干燥加热器

在制造车间里，当干燥步骤出现偏差时，芯片实验室中的操作就会出问题。人们会看到通道中有杂质堆积，300毫米直径的晶圆上的成品率也会下降。因此，加热器必须按照既定参数来工作，而不能依赖室温。 从技术层面来看，什么是最重要的呢？ 我们设计的这种芯片实验室用加热器，是以石英陶瓷模块中的短波红外发射器为基础...