IR을 이용해 웨이퍼를 가열할 때 안전을 유지하는 방법
솔직히 말해서, 고온의 적외선 램프와 가연성 용매를 함께 사용하는 것은 매우 위험한 행동입니다. 웨이퍼를 화학적으로 세척하는 과정에서는, 폭발성 기체가 있는 곳 근처에 발화원이 있어서는 안 됩니다.
우리는 이 문제를 해결할 더 나은 방법을 찾았습니다. 일반적인 램프 대신, 특수한 코팅 처리가 된 구조를 사용하는 것입니다.
“최적의 위치” 찾기
램프를 어디에 설치할지 결정할 때는 균형을 잡아야 합니다. 너무 가까이에 설치하면 웨이퍼에 “열점”이 생깁니다. 이는 좋지 않습니다. 반대로 너무 멀리 떨어뜨리면 열 효율이 떨어져 작업 속도가 느려집니다.
이 문제를 해결하기 위해, 우리는 발열체를 사파이어나 내화성이 뛰어난 석영으로 만들어진 밀폐된 케이스 안에 넣습니다. 이는 마치 물리적인 보호막과 같아서, 램프의 전기 아크가 주변 공기와 접촉하지 않도록 합니다. 그래서 화학물질이 유출되더라도 램프가 폭발하지 않습니다.
장수명을 위한 설계
여기서 중요한 것은 안정성입니다. 열충격은 램프에 치명적이기 때문에, 우리는 코팅 처리된 석영이나 이중 벽 구조를 사용합니다. 세척 시 액체의 온도가 급격히 변하면, 저품질의 램프는 쉽게 파손됩니다.
또한, 밀폐된 구조 덕분에 습기나 부식성 가스가 들어오지 못합니다. 보통 램프가 고장나는 이유는 전극이 마모되기 때문인데, 이 설계 덕분에 그런 일이 일어나지 않습니다.
단점
물론, 한 가지 단점이 있습니다. 보호 코팅层 때문에 약간의 열이 손실됩니다. 그렇다고 해서 큰 문제는 아니지만, 에너지의 일부가 웨이퍼에 도달하기 전에 흡수됩니다.
따라서 원하는 속도를 유지하려면 전력 공급을 조절해야 합니다.
마지막으로, 공기 흐름도 잊지 마세요. 비록 램프가 밀폐되어 있더라도, 용매 농도를 낮추기 위해서는 환기 시스템이 반드시 필요합니다. 안전이 항상 최우선입니다.