300mm 와이어가 트랙에서 떨어져 베이크 모듈로 들어가는 모습을 보세요. 포토레지스트는 일정한 온도에 도달해야 하며, 모든 칩 위에서 균일해야 합니다. 만약 뜨거운 부분의 온도가 1°C만큼 변하거나, 가장자리에 차가운 부분이 생긴다면, 정밀한 치수 제어가 불가능해집니다. 그러면 공정이 중단됩니다.
실제로 중요한 것은 무엇인가? 저희는 구역별 가열 방식을 사용하여, 각 구역마다 신속하게 반응하며 와이어 전체에 균일한 열을 공급할 수 있도록 설계했습니다. 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서도 시스템은 설정된 온도를 ±0.1°C 이내로 유지합니다. 또한, 램프 프로파일도 일관되게 유지되므로, 포토레지스트의 상태가 유지되고 잔류파동도 발생하지 않습니다.
쿼츠와 단파 적외선을 이용하면 빠르고 깨끗하게 열을 공급할 수 있으며, 입자 발생도 적습니다. 컨트롤러는 각 구역을 실시간으로 모니터링하여, 가장자리의 영향이나 장비 간의 차이를 보상할 수 있습니다.
왜 이 방식이 실제 공장에서도 효과적인가? 클래스 1–100급 청정실에서는 입자 수가 매우 중요합니다. 이러한 구역별 가열 방식을 사용하면 열처리 과정에서 입자가 발생하지 않아, 생산 품질이 유지됩니다. 그 결과, 포토레지스트의 베이킹 정확도가 높아지고, 재작업이 줄어들며, 계획적인 열 관리가 가능해집니다.
필요한 구역만 가열하기 때문에 에너지 사용량도 줄어듭니다. 그 결과, 일관된 치수 성능을 얻을 수 있으며, 폐기물도 줄어들고, 24/7 작동이 가능해집니다.
주의해야 할 세부 사항들 통합 과정에서는 베이크 챔버의 크기, 가스 흐름 패턴, 배기 효율 등을 고려해야 합니다. 기존의 쿼츠 제품과 소스들도 새로운 구역 분할 및 온도 프로파일과 호환되는지 확인해야 합니다.
자신의 포토레지스트 조건에 맞게 구역 오프셋과 램프 속도를 조정해야 합니다. 일단 이가 조정되면, 교대 근무나 와이어 시작 시에도, 계절 변화에도 공정이 안정적으로 유지됩니다.