첨단 웨이퍼 공장을 위한 구역별 난방 시스템

300mm 와이어가 트랙에서 떨어져 베이크 모듈로 들어가는 모습을 보세요. 포토레지스트는 일정한 온도에 도달해야 하며, 모든 칩 위에서 균일해야 합니다. 만약 뜨거운 부분의 온도가 1°C만큼 변하거나, 가장자리에 차가운 부분이 생긴다면, 정밀한 치수 제어가 불가능해집...