구역별 적외선 난방 모듈

팹에서는 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’가 단순히 온도 조절 과정이 아니라, 허용 오차를 관리하는 과정이기도 합니다. 1°C의 온도 변동만으로도 치명적인 결과가 발생할 수 있으며, 특정 부분의 과열은 웨이퍼의 생산성을 크게 저하시킬 수 있습니다. 이러한 이유로 우...