클린룸 오븐 적외선 히터

반도체 청정실에서의 적외선 가열과 열공기 순환 방식의 비교 반도체 심층 처리를 위한 청정실 오븐을 선택할 때, 강제 공기 대류 방식과 적외선 가열 방식 중 어떤 것을 선택할지는 에너지 전달 방식에 달려 있습니다. 열공기 순환 방식은 기판의 표면층을 이용하여 공기를 가...