웨이퍼 경화 램프용 반사판

웨이퍼 교정 시스템이 오븐처럼 변하는 것을 막으세요. IR 램프의 문제점은, 열이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 360도 방향으로 열이 방출됩니다. 반도체 제조 과정에서, 웨이퍼에 닿지 않는 열은 그냥 낭비되는 셈입니다. 하지만 그보다 더 심각한 문제는, 그 낭비된 에...