왜 반도체 제조 과정에서 핫에어 방식을 버리는가? 만약 청정실의 장비를 업그레이드하는 작업을 해본 적이 있다면, 열을 공급하는 과정이 얼마나 번거로운지 잘 알 것입니다. 이 과정은 항상 시간이 많이 걸리는 부분입니다. 대부분의 구식 공장들은 여전히 핫에어 순환 방식을...

벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼만을 가열해 보세요. 솔직히 말해서, 반도체 제조 공장에서는 통제되지 않는 열은 큰 문제입니다. 구식의 대류식 히터나 전방향으로 열을 방출하는 히터를 사용한다면, 이러한 문제를 이미 경험했을 것입니다. 에너지가 웨이퍼에만 집중되는...

더 이상 열을 억누르지 마세요: 더 효과적인 공장 운영 방법 차세대 공장을 계획한다면, 가장 먼저 고려해야 할 것은 열을 어떻게 공급할지입니다. 대부분의 사람들은 여전히 구식 방법을 사용하고 있지만, 그런 방법들은 더 이상 효과적이지 않습니다. 최근에는 점점 더 많은...

웨이퍼 처리 과정에서 열이 낭비되는 것을 막으세요. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 모든 와트가 중요합니다. 문제는 표준 스테인리스 스틸로 만들어진 케이스들이 마치 스펀지와 같아서 적외선 에너지를 너무 많이 흡수한다는 점입니다. 이로 인해 에너지가 낭비될 뿐만 아니라,...

IR 가열과 강제 공기 순환 방식: 과연 어느 방식이 여러분의 제조 공정에 적합할까요? 만약 여전히 반도체 처리에 열풍을 사용하고 있다면, 아마도 오랜 시간을 기다리는 데 소요하고 있을 것입니다. 생각해보세요. 강제 공기 순환 방식을 사용할 경우, 작은 웨이퍼를 적절...

클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 청정실을 운영할 때 가열은 상당히 어려운 문제입니다. 문제는 온도 자체가 아니라, 보이지 않는 미세입자들입니다. 대부분의 가열 요소들은 더러워져 있으며, 가열되거나 식을 때마다 작은 입자들이 방출됩니다...

300mm 웨이퍼를 처리할 때, 리소그래피 공정에서 가장 중요한 요소는 바로 열처리 공정입니다. 만약 AHU의 히터가 오차를 보인다면, 열처리 공정도 함께 변동하게 되고, 결함 감지 장치가 문제를 감지하기 훨씬 전에 생산성이 저하됩니다. 저희는 웨이퍼가 있는 곳에서...

300mm 와이어가 트랙에서 떨어져 베이크 모듈로 들어가는 모습을 보세요. 포토레지스트는 일정한 온도에 도달해야 하며, 모든 칩 위에서 균일해야 합니다. 만약 뜨거운 부분의 온도가 1°C만큼 변하거나, 가장자리에 차가운 부분이 생긴다면, 정밀한 치수 제어가 불가능해집...