웨이퍼 처리 과정에서 열이 낭비되는 것을 막으세요.
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 모든 와트가 중요합니다. 문제는 표준 스테인리스 스틸로 만들어진 케이스들이 마치 스펀지와 같아서 적외선 에너지를 너무 많이 흡수한다는 점입니다. 이로 인해 에너지가 낭비될 뿐만 아니라, 장비의 케이스 자체가 거대한 열 싱크가 되어버립니다.
우리는 히터 케이스의 내부를 고순도 금으로 코팅함으로써 이 문제를 해결했습니다.
왜 금일까요?
그건 단순히 화려해 보이기 위해서가 아닙니다. 금은 적외선을 반사하는 능력이 탁월하기 때문입니다. 여러분이 사용하는 할로겐 램프나 석영 램프에서 나오는 파장들은 금이 잘 반사해냅니다. 그래서 케이스가 열을 흡수하는 대신, 금 코팅층이 그 광자들의 98%를 웨이퍼 쪽으로 다시 반사해줍니다.
이렇게 하면 에너지가 정확하게 필요한 곳에 전달됩니다.
물론, 몇 가지 고려해야 할 사항들이 있습니다. 우리는 고급 스테인리스 스틸을 사용하여 케이스가 뜨거워져도 변형되지 않도록 합니다. 또한 금이 벗겨지지 않도록 진공 상태에서 표면에 코팅합니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 금은 까다로운 재료입니다. 만약 공정 중에 부식성 가스가 사용된다면, 금 코팅이 손상될 수 있습니다. 그렇게 되면 반사율이 떨어지고 처리 시간도 길어집니다. 그런 경우라면, 금을 보호하기 위해 석영 차폐막을 사용하는 것이 좋습니다.
이 방법의 실제적인 이점
가장 큰 장점은 속도입니다. 목표 온도에 훨씬 빠르게 도달할 수 있습니다.
이렇게 되면 두 가지 선택지가 생깁니다. 하나는 램프의 출력을 줄여서 전원 공급 장치에 가해지는 부담을 줄이는 것이고, 다른 하나는 로드업 시간을 단축하여 더 많은 웨이퍼를 처리할 수 있도록 하는 것입니다.
작은 팁: 설치할 때 PID 컨트롤러를 잘 조정해 주세요. 이제 시스템의 반응 속도가 훨씬 빨라졌으므로, 이 점을 고려해야 합니다.
또한, 열이 웨이퍼에 집중되기 때문에, 기계의 다른 부분들은 더 시원하게 유지됩니다. 따라서 냉각팬도 그다지 열심히 작동할 필요가 없어서 모든 면에서 이점이 있습니다.