웨이퍼 제조를 위한 폴리이미드 경화

Fab 라인에서 폴리이미드 경화는 단순한 열공정 단계를 넘어선 차원입니다. 웨이퍼 전체에서 온도가 몇 도만 밀리거나 당겨져도 응력이 변하고 필름이 휘어지며 수율이 사양을 벗어나게 됩니다. 우리는 이 현실을 기반으로 접근 방식을 구축했습니다. 청정도나 가동 시간을 희생...