웨이퍼 공정용 온도 센서

왜 웨이퍼 처리에 적외선 가열 방식을 사용하는가? 요즘은 모두가 탄소 중립에 대해 이야기하고 있습니다. 반도체 업계에서는 이것이 곧, 물건을 가열하는 방식을 다시 생각해보아야 한다는 뜻입니다. 기존의 방식인 거대한 저항식 오븐을 사용하는 것은 마치 피자 한 조각을 데...