빠른 배송 웨이퍼 히터 램프

리소그래피 라인에서는 반도체 패턴 크기(CD) 예산에 절반 도(℃)만큼의 소프트 베이크 편차가 영향을 주고, 웨이퍼 전반에 걸쳐 균일하지 않은 하드 베이크가 스커밍(scumming)과 풋팅(footing)을 유발한다는 사실을 빠르게 인지하게 된다. 라인이 로트당 시간...