TEL (Tokyo Electron) 히터 램프

리소그래피 공정에서는 포토레지스트의 건조 과정이 위상선의 균일성을 결정합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 있어도 즉시 CD 값에 변화가 생기며, 단 한 개의 먼지 입자만으로도 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. TEL 히터는 이러한 현실...