공장 건조 시설의 에너지 점검
벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼만을 가열해 보세요.
솔직히 말해서, 반도체 제조 공장에서는 통제되지 않는 열은 큰 문제입니다.
구식의 대류식 히터나 전방향으로 열을 방출하는 히터를 사용한다면, 이러한 문제를 이미 경험했을 것입니다. 에너지가 웨이퍼에만 집중되는...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
유리 조각의 낙하를 막아라: IR 건조 과정에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
MEMS 센서 제조 과정에서 적외선 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 이는 단순한 부품의 고장이 아니라, 심각한 재앙입니다.
고압으로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 그러면...
칩상 실험용 건조 히터
생산 현장에서는, 건조 공정이 제대로 이루어지지 않으면 칩 위에서의 실험이 실패로 끝나게 됩니다. 채널 내에 이물질이 생기고, 300mm 웨이퍼의 성능도 저하됩니다. 따라서 히터는 실내 온도가 아닌, 지정된 조건에 맞게 작동해야 합니다.
기술적으로 중요한 점들 저희는...