와이어가 오염되기 전에 미리 막아야 합니다. 솔직히 말해서, 고부하가 걸리는 반도체 생산 라인에서 적외선 램프가 파손된다면 그건 정말 큰 문제입니다. 단순히 히터가 작동을 멈추는 것만이 문제가 아닙니다. 석영관이 파손되면, 유리 조각과 화학 물질들이 와이어 표면에 튀...

유리 조각의 낙하를 막아라: IR 건조 과정에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 MEMS 센서 제조 과정에서 적외선 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 이는 단순한 부품의 고장이 아니라, 심각한 재앙입니다. 고압으로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 그러면...

웨이퍼 처리 과정에서 탄소 배출을 줄이는 방법 (정신을 잃지 않으면서) 현재 모든 반도체 제조 공장들은 넷-제로 목표를 달성하기 위해 애쓰고 있습니다. 하지만 에너지가 어디로 사라지는지 살펴보면, 그 중 상당 부분은 웨이퍼를 가열하고 경화하는 과정에서 발생하는 불필요...

왜 웨이퍼 처리에 적외선 가열 방식을 사용하는가? 요즘은 모두가 탄소 중립에 대해 이야기하고 있습니다. 반도체 업계에서는 이것이 곧, 물건을 가열하는 방식을 다시 생각해보아야 한다는 뜻입니다. 기존의 방식인 거대한 저항식 오븐을 사용하는 것은 마치 피자 한 조각을 데...

IR을 이용해 웨이퍼를 가열할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 고온의 적외선 램프와 가연성 용매를 함께 사용하는 것은 매우 위험한 행동입니다. 웨이퍼를 화학적으로 세척하는 과정에서는, 폭발성 기체가 있는 곳 근처에 발화원이 있어서는 안 됩니다. 우리는 이 문...

웨이퍼 교정 시스템이 오븐처럼 변하는 것을 막으세요. IR 램프의 문제점은, 열이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 360도 방향으로 열이 방출됩니다. 반도체 제조 과정에서, 웨이퍼에 닿지 않는 열은 그냥 낭비되는 셈입니다. 하지만 그보다 더 심각한 문제는, 그 낭비된 에...

리소그래피 공정에서, 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 0.5도 정도의 온도 변동은 결코 사소한 문제가 아닙니다. 이러한 오차는 전기 테스트 시 수율 저하로 나타나며, 불순물이 생겨서 재가공이 필요하게 됩니다. 웨이퍼의 적외선 가열은 단순히 일정한 온도를 유지하는 것...

Fab 라인에서 폴리이미드 경화는 단순한 열공정 단계를 넘어선 차원입니다. 웨이퍼 전체에서 온도가 몇 도만 밀리거나 당겨져도 응력이 변하고 필름이 휘어지며 수율이 사양을 벗어나게 됩니다. 우리는 이 현실을 기반으로 접근 방식을 구축했습니다. 청정도나 가동 시간을 희생...

리소그래피 라인에서는 반도체 패턴 크기(CD) 예산에 절반 도(℃)만큼의 소프트 베이크 편차가 영향을 주고, 웨이퍼 전반에 걸쳐 균일하지 않은 하드 베이크가 스커밍(scumming)과 풋팅(footing)을 유발한다는 사실을 빠르게 인지하게 된다. 라인이 로트당 시간...

공정 현장에서 작업 절차는 잘 알고 있을 것이다. 포토레지스트 베이크 시 ±0.5°C 드리프트만으로도 500웨이퍼 로트가 폐기된다. 공정 카드에 명시된 온도가 반복적으로 정확히 도달해야 한다. 현재 사용 중인 NIR 드라이어 전구는 이러한 현실을 기반으로 설계되었다—...