왜 반도체 제조 과정에서 핫에어 방식을 버리는가? 만약 청정실의 장비를 업그레이드하는 작업을 해본 적이 있다면, 열을 공급하는 과정이 얼마나 번거로운지 잘 알 것입니다. 이 과정은 항상 시간이 많이 걸리는 부분입니다. 대부분의 구식 공장들은 여전히 핫에어 순환 방식을...

화학물질이 위험해질 때 안전을 유지하는 방법 클린룸에서 적외선 램프를 사용할 때, 특히 가연성 세척제가 있는 곳에서는 그냥 일반적인 히터를 사용해서는 안 됩니다. VOC와 같은 유해한 화학물질들이 있기 때문입니다. 조금만 스파크가 발생하거나 표면 온도가 너무 높아져도...

파편을 막아라: 웨이퍼를 히터 고장으로부터 보호하기 대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서는 적외선 램프가 고장 나는 것은 재앙과 같습니다. 단순히 가동 중단이나 청소의 번거로움만 문제가 되는 것이 아닙니다. 그보다 더 심각한 문제가 있죠. 규소 웨이퍼 위에서 석영관...

왜 웨이퍼를 운반할 때 금을 사용하는가? 클린룸에서 웨이퍼를 이동시킬 때는 온도가 매우 중요합니다. 온도가 너무 낮거나 급격하게 변하면 웨이퍼가 오염되거나 열충격을 받을 수 있습니다. 이는 하루를 시작하기에 좋은 상황이 아닙니다. 이러한 문제를 방지하기 위해 우리는...

반도체 청정실에서의 적외선 가열과 열공기 순환 방식의 비교 반도체 심층 처리를 위한 청정실 오븐을 선택할 때, 강제 공기 대류 방식과 적외선 가열 방식 중 어떤 것을 선택할지는 에너지 전달 방식에 달려 있습니다. 열공기 순환 방식은 기판의 표면층을 이용하여 공기를 가...