왜 웨이퍼를 운반할 때 금을 사용하는가?
클린룸에서 웨이퍼를 이동시킬 때는 온도가 매우 중요합니다. 온도가 너무 낮거나 급격하게 변하면 웨이퍼가 오염되거나 열충격을 받을 수 있습니다. 이는 하루를 시작하기에 좋은 상황이 아닙니다.
이러한 문제를 방지하기 위해 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 듣기에는 고급스러워 보이지만, 사실은 효율성을 위한 것입니다. 우리는 열이 웨이퍼에 도달하기를 원하며, 카트의 바디 속으로 사라지는 것을 원하지 않습니다.
금과 열의 관계
대부분의 사람들은 반사체로 알루미늄을 생각하지만, 알루미늄은 적외선 에너지의 상당 부분을 흡수해버립니다. 반면 금은 다릅니다. 금은 장파장의 적외선을 원래 있어야 할 곳으로 다시 반사하는 능력이 뛰어납니다.
이는 장비를 비싸 보이게 하기 위한 것이 아닙니다. 광자에 관한 문제입니다. 고순도 금을 반사체에 코팅함으로써, 열을 정확히 원하는 곳으로 전달할 수 있습니다. 지불하는 비용은 모두 그만한 가치가 있습니다.
최적의 조건 찾기
“그럼 왜 그냥 출력을 높이지 않는가?”라고 생각할 수도 있습니다. 물론, 그렇게 하면 더 빨리 가열될 것입니다. 하지만 그렇게 되면 전원 공급 장치에 큰 부담이 가습니다. 게다가, 너무 많은 열을 작은 공간에 가하면 웨이퍼에 과열 현상이 발생하여 일관성이 떨어집니다.
우리는 반사체의 형태와 코팅의 두께를 조절하는 데 많은 시간을 듭니다. 목표는 웨이퍼 전체에 고르게 열이 분포되도록 하는 것입니다. 예상치 못한 문제가 발생하지 않도록 말입니다.
유지보수에 대해서
좋은 소식은 금이 화학적으로 안정적이라는 점입니다. 클린룸에서는 이점이 큽니다. 왜냐하면 가스가 방출될 걱정을 할 필요가 없기 때문입니다.
하지만 단점도 있습니다. 금은 부드러운 물질입니다. 만약 유지보수팀이 연마제를 사용해 청소한다면, 코팅이 벗겨질 것입니다. 금이 사라지면 열 효율이 현저히 떨어집니다. 이러한 히터들은 정밀한 작동을 위해 설계된 것이므로, 거친 세척은 피해야 합니다. 승인된 용매를 사용해 청소만 해준다면, 히터는 계속해서 제대로 작동할 것입니다.