웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

IR을 이용해 웨이퍼를 가열할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 고온의 적외선 램프와 가연성 용매를 함께 사용하는 것은 매우 위험한 행동입니다. 웨이퍼를 화학적으로 세척하는 과정에서는, 폭발성 기체가 있는 곳 근처에 발화원이 있어서는 안 됩니다. 우리는 이 문...