LCD 패널 공정용 적외선 히터

LCD 패널 팹 작업장에서 열 이동에는 특별한 신호가 없으며, 조용히 수율을 저하시킨다. 감광액 소프트 베이크나 하드 베이크 중 온도가 조금이라도 벗어나면, 치수 오류가 발생하여 리소그래피, 에칭, 증착 공정 전반에 영향을 미친다. 당사는 적외선 히터를 설계하여 이러...