왜 웨이퍼를 운반할 때 금을 사용하는가? 클린룸에서 웨이퍼를 이동시킬 때는 온도가 매우 중요합니다. 온도가 너무 낮거나 급격하게 변하면 웨이퍼가 오염되거나 열충격을 받을 수 있습니다. 이는 하루를 시작하기에 좋은 상황이 아닙니다. 이러한 문제를 방지하기 위해 우리는...

왜 무연 반도체에는 적외선을 사용하는가? 반도체 산업은 “친환경적이고 무연인” 기준을 향해 나아가고 있습니다. 오랫동안 사용되어 온 방법은 대형 오븐을 이용하는 것이었습니다. 이 오븐들은 엄청난 양의 공기를 가열하여 웨이퍼를 건조시키거나 접착제를 경화시키는 역할을 합...

왜 무연 칩 제조에는 적외선 경화 기술이 필요한가? 솔직히 말해서, 대류식 오븐은 이제 구식 기술로 여겨집니다. 우리 대부분은 적외선 경화 기술을 사용하고 있으며, 그에는 타당한 이유가 있습니다. 거대한 금속 상자를 가열하는 데 엄청난 에너지를 낭비하는 대신, 적외선...

클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 미세한 이물질들이 발생하는 문제가 얼마나 골칫거리인지 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 입자 하나나 가열 요소에서 나오는 가스만으로도 반도체의 성능이 현저히 떨어집니다...

열을 낭비하지 마세요. 웨이퍼를 가열할 때, 더 많은 전력을 사용하는 것이 해결책이 아닙니다. 중요한 것은 얼마나 많은 전력을 사용하느냐가 아니라, 그 전력이 실제로 어디로 가는지입니다. 대부분의 경우, 에너지는 그냥 챔버 벽으로 빠져나갑니다. 이는 큰 낭비입니다....

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 2°C 정도의 온도 변화만으로도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 따라서 “자신만의 의견”을 가진 열원은 필요 없습니다. 중요한 것은 온도를 일정하게 유지해주는 열원입니다. 우리가 사용하는 석영 할로겐 전구는 웨이퍼, 포토...

웨이퍼 플로어에서 베이크 단계는 단순한 정지가 아니라 레버 역할을 한다. 소프트 베이크는 용매를 제거하고 레지스트 프로파일을 설정한다. 하드 베이크는 접착력을 고정시키고 식각 마스크를 실질화한다. 핫플레이트 온도가 단 몇 도만 변해도 즉시 알 수 있다. CD(임계 치...