클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 미세한 이물질들이 발생하는 문제가 얼마나 골칫거리인지 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 입자 하나나 가열 요소에서 나오는 가스만으로도 반도체의 성능이 현저히 떨어집니다. 정말 짜증나는 일이죠.
그래서 우리는 일반적인 히터를 사용하는 대신, 금 코팅 처리가 된 고순도 합성 석영관을 사용하기 시작했습니다.
왜 금이 중요한가?
일반적인 적외선 램프는 열을 사방으로 방출합니다. 하지만 반도체 제조 과정에서는 그런 열은 낭비일 뿐입니다. 중요한 것은 웨이퍼에 닿는 열뿐입니다.
그래서 우리는 석영관의 뒷면에 얇은 금층을 코팅했습니다. 이 금층은 거울과 같은 역할을 하여 적외선 에너지를 앞쪽으로 보냅니다. 그 결과, 전력을 높이지 않아도 열 밀도가 크게 증가합니다. 목표 온도에 도달하는 시간도 훨씬 줄어듭니다. 게다가 금은 화학적으로 안정적이어서 산화되거나 벗겨져 나가지 않습니다. 따라서 “무오염”이라는 목표를 실현할 수 있습니다.
물질의 불순물과 열
우리는 고순도 석영관을 사용하는 이유는, 높은 온도에서도 불순물이 퍼지는 것을 막을 수 있기 때문입니다. 이러한 램프는 빠른 열 변화에도 견딜 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점은, 금 코팅으로 인해 앞면의 열이 매우 강해진다는 것입니다. 따라서 냉각 시스템이 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 석영관의 끝부분이 과열될 수 있습니다.
설치 및 유지보수
이 램프들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 별도의 번거로움이 없습니다. 밀폐성도 향상되어 설치할 때 이물질이 들어갈 걱정도 없습니다.
전선 연결에 관한 팁: 전원 공급이 안정적이어야 합니다. 전압 변동은 필라멘트를 손상시킬 수 있습니다.
만약 출력이 줄어든다면, 그건 석영관 표면에 불순물이 끼어 있기 때문입니다. 전자용 IPA를 사용하여 깨끗하게 청소해 주세요.
단, 마모성 있는 천을 사용하지 마세요! 그런 천들은 코팅을 손상시켜 오히려 원하지 않는 이물질을 만들어냅니다. 반드시 부드러운 천을 사용하세요.