클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 청정실을 운영할 때 가열은 상당히 어려운 문제입니다. 문제는 온도 자체가 아니라, 보이지 않는 미세입자들입니다. 대부분의 가열 요소들은 더러워져 있으며, 가열되거나 식을 때마다 작은 입자들이 방출됩니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 탄소섬유 필라멘트를 고순도의 합성 석영 속에 밀봉하는 것입니다.
왜 석영인가?
석영은 고온에서도 변질되지 않습니다. 또한 휘발성 유기화합물(VOCs)이 공기 중으로 유출되는 것도 막습니다. 탄소섬유가 튜브 안에 진공으로 밀봉되어 있기 때문에, 아무런 입자도 밖으로 새어나오지 않습니다. 그 결과, 웨이퍼나 광학 부품을 손상시키지 않는 깨끗한 열이 생성됩니다.
속도 면에서의 장점
이 탄소섬유 램프는 매우 빠릅니다. 오래된 금속 코일과 달리, 몇 초 만에 원하는 온도에 도달합니다. 이는 HVAC 시스템에 큰 이점이 됩니다. 왜냐하면 HVAC 시스템이 큰 열 부하와 싸울 필요가 없기 때문입니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 전력 밀도를 잘 조절해야 합니다. 고출력 램프를 좁은 공간에 넣으면 금방 과열됩니다. 또한 석영이 팽창할 때를 고려하여 마운팅 브라켓을 선택해야 합니다. 스프링식 마운팅을 사용하면 유리가 가열될 때도 제대로 확장될 수 있습니다.
설치 방법
이 램프들은 기존의 IR 배열을 대체할 수 있도록 설계되었으므로, 교체하기가 매우 간편합니다. 또한 금도금된 커넥터나 고급 니켈 커넥터도 사용됩니다. 왜냐하면 산화로 인해 아크가 발생하고, 그로 인해 입자가 생기기 때문입니다.
마지막으로 중요한 점이 있습니다. 고순도 석영은 피지를 싫어합니다. 설치할 때 장갑을 끼지 않고 유리를 만지면, 그 피지가 유리 표면에 남게 됩니다. 이로 인해 ‘핫 스팟’이 생겨서 램프가 예상보다 빨리 파괴될 수 있습니다. 따라서 스위치를 켜기 전에 반드시 모든 사람들이 램프를 IPA로 깨끗이 닦아주어야 합니다.