팹 에어컨 히터 모듈

300mm 웨이퍼를 처리할 때, 리소그래피 공정에서 가장 중요한 요소는 바로 열처리 공정입니다. 만약 AHU의 히터가 오차를 보인다면, 열처리 공정도 함께 변동하게 되고, 결함 감지 장치가 문제를 감지하기 훨씬 전에 생산성이 저하됩니다. 저희는 웨이퍼가 있는 곳에서...