칩상 실험용 건조 히터

생산 현장에서는, 건조 공정이 제대로 이루어지지 않으면 칩 위에서의 실험이 실패로 끝나게 됩니다. 채널 내에 이물질이 생기고, 300mm 웨이퍼의 성능도 저하됩니다. 따라서 히터는 실내 온도가 아닌, 지정된 조건에 맞게 작동해야 합니다. 기술적으로 중요한 점들 저희는...