웨이퍼 처리 과정에서 탄소 배출을 줄이는 방법 (정신을 잃지 않으면서) 현재 모든 반도체 제조 공장들은 넷-제로 목표를 달성하기 위해 애쓰고 있습니다. 하지만 에너지가 어디로 사라지는지 살펴보면, 그 중 상당 부분은 웨이퍼를 가열하고 경화하는 과정에서 발생하는 불필요...

리소그래피 공정에서, 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 0.5도 정도의 온도 변동은 결코 사소한 문제가 아닙니다. 이러한 오차는 전기 테스트 시 수율 저하로 나타나며, 불순물이 생겨서 재가공이 필요하게 됩니다. 웨이퍼의 적외선 가열은 단순히 일정한 온도를 유지하는 것...