공장 건조 시설의 에너지 점검

벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼만을 가열해 보세요. 솔직히 말해서, 반도체 제조 공장에서는 통제되지 않는 열은 큰 문제입니다. 구식의 대류식 히터나 전방향으로 열을 방출하는 히터를 사용한다면, 이러한 문제를 이미 경험했을 것입니다. 에너지가 웨이퍼에만 집중되는...