도판트 활성화용 적외선 히터

생산 현장에서는 열 관리가 매우 중요한 요소입니다. 이온주입 과정 이후에는 반드시 정해진 온도에 도달해야 합니다. 만약 그렇지 못하면 시트 저항값이 변동하게 되고, 그 결과 장치의 생산성도 떨어지게 됩니다. 기존의 핫플레이트 방식을 사용할 경우, 성능이 저하되고 처리...