熱との戦いをやめよう：より良いファブの運用方法
次世代のファブを構築する際、まず最初に考えるべきは、どのようにして加熱を行うかということです。私たちの多くは、もはや役に立たない古い方法を使い続けています。最近では、多くのエンジニアがその古い方法を捨てて、赤外線システムを採用しています。なぜでしょうか？それは、赤外線システムがデジタル制御とうまく連動するからです。
すぐに反応する加熱
デジタル化されたファブでは、10分後ではなく、即座に反応する加熱が必要です。
赤外線は放射エネルギーであるため、部屋全体の空気を温めるのに時間を浪費しません。センサーやPIDコントローラーを接続すれば、即座に出力を調整できます。
これにより、エネルギーの無駄遣いがなくなり、起動時間も大幅に短縮されます。非常にスムーズです。
加熱をデータに変える
スマートファクトリーで赤外線ランプを設置する際には、仕様を慎重に選ぶ必要があります。私は常に、1平方センチメートルあたりの出力密度を重視します。
高出力のランプを使えば、ウェーハや基板の特定の領域だけを加熱でき、チャンバー全体を温める必要がありません。また、すべてがPLCを通じて制御されるため、各ユニットがどれだけのエネルギーを消費しているかを正確に把握できます。つまり、熱は単なるエネルギー源ではなく、ラインの最適化に役立つデータになります。
障害点（いつもあるものです）
ただし、赤外線も万能ではありません。特有の問題があります。
熱が集中するため、注意しないとシールドを破壊してしまう可能性があります。反射板や冷却ファンの性能についても真剣に考える必要があります。冷却機能が不足していると、ジグが歪んだり、ランプが早く故障したりします。これはトレードオフですが、事前に計画を立てれば簡単に対処できます。
なぜ変更するのか？
最も良い点は、スペースの節約です。
赤外線システムはコンパクトです。巨大な熱交換器や太い配管は不要です。ほとんどの場合、古い対流式オーブンの代わりに簡単に取り替えられます。
これにより、多くのスペースが確保されます。他のロボットや検査ステーションを設置する余裕ができます。精密で制御可能な加熱が可能になり、現代的でデータ駆動型のワークフローにも適しています。理にかなっています。