더 이상 오븐이 준비될 때까지 기다리지 마세요: 오존이 없는 적외선이 해답입니다.
반도체 가공 작업을 하는 분이라면 기다리는 것이 얼마나 짜증나는 일인지 잘 알고 있을 것입니다. 특히, 챔버가 충분히 가열될 때까지 기다려야 합니다.
대부분의 경우 강제 공기 순환 방식을 사용하는데, 이는 사실상 뜨거운 공기를 주변에 불어넣는 것에 불과합니다. 문제는, 부품이 따뜻해지기 전에 그 공간 안의 모든 공기를 가열해야 한다는 점입니다. 이는 매우 느리고 번거로운 과정이며, 생산성을 크게 저하시킵니다.
그러나 적외선을 사용하면 이런 문제가 해결됩니다. 적외선은 공기를 건드리지 않고, 전자기파를 이용해 에너지를 직접 부품에 전달합니다. 이 방식은 매우 빠릅니다. 그래서 작업 효율이 크게 향상됩니다.
열이 정말 필요한 곳에만 전달됩니다
공기 순환 방식은 항상 느리게 작동합니다. 불균일한 온도와 낭비되는 시간도 많습니다. 우리는 오존이 없는 적외선 램프를 사용하여 이러한 과정을 생략합니다.
물질이 흡수하기 쉬운 파장을 선택함으로써, 부품은 거의 즉시 가열됩니다. 더 이상 송풍기가 방 안의 온도를 안정시킬 때까지 기다릴 필요가 없습니다. 그냥 부품들을 처리 라인 위로 옮기기만 하면 됩니다.
“오존” 문제와 그 해결 방법
일반적인 단파 적외선의 문제점은 오존이 발생한다는 것입니다. 이는 진공 자외선(VUV) 때문에 발생합니다.
클린룸에서 오존은 치명적인 문제입니다. 오존은 밀폐된 공간의 밀폐 성능을 해치고 표면을 손상시킵니다. 아무도 이런 상황을 원하지 않습니다.
우리의 램프는 특수한 석영 커버와 필터를 사용하여 그러한 VUV 파장을 차단합니다. 그래서 강력한 열이 발생하지만, 화학적 오염물질은 전혀 발생하지 않습니다. 그 결과, 공정이 깨끗하게 유지되고 장비의 수명도 길어집니다.
솔직한 단점들
모든 상황에 완벽하다고는 할 수 없습니다. 적외선은 특정 방향으로만 열을 전달합니다.
담요처럼 부품 주위를 감싸는 대류식 오븐과 달리, 적외선은 자신이 “볼 수 있는” 곳에만 열을 전달합니다. 만약 부품의 형태가 복잡하거나 구멍이 많다면, 특정 부분이 차가워질 수 있습니다.
그래서 우리는 램프의 배열과 반사판의 각도를 신중하게 조절합니다. 모든 부분이 제대로 가열되도록 해야 합니다.
또한, 냉각 시스템도 중요합니다. 적외선은 아주 작은 공간에 엄청난 양의 에너지를 집중시킵니다. 만약 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않으면, 장비가 손상될 수 있습니다. 반드시 장비가 해당 부하를 견딜 수 있는지 확인해야 합니다.