진공 챔버를 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 아주 사소한 실수라도 큰 문제가 될 수 있습니다. 조금만 먼지가 들어가거나 가열 과정 중에 화학 가스가 새어 나와도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다.
대부분의 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황에 적합하지 않습니다. 이러한 요소들은 결합제를 방출하거나 산화되어, 결국 오염물질을 기판 위에 남겨버립니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영을 진공 적외선 램프에 사용합니다. 이렇게 하면 램프가 항상 깨끗한 상태를 유지됩니다.
가스 방출 문제
우리는 융합 석영을 사용하는데, 이는 고온 상태에서도 변질되지 않기 때문입니다. 일반 유리와 달리, 융합 석영은 분해되거나 유해한 휘발성 유기화합물을 방출하지 않습니다.
진공 상태에서는 아주 작은 먼지조차도 결함으로 간주됩니다. 석영 외피의 불순물을 제거함으로써, 과도한 탄소나 금속이 공정에 섞여 들어가는 것을 방지할 수 있습니다.
전력과 열
적외선은 전달 매체가 필요 없기 때문에 진공 상태에서도 효과적으로 작동합니다. 우리는 고출력 밀도를 갖춘 램프를 설계했으므로, 빠르게 열을 발생시킬 수 있습니다. 에너지는 직접 작업물에 전달되므로, 챔버 벽이 불필요한 열을 흡수하는 것을 방지할 수 있습니다.
다만 주의해야 할 점은, 고출력 램프는 시간을 절약해주긴 하지만 진공 밀폐 시스템에 부담을 줄 수 있다는 것입니다. 그러니 가스켓이 해당 온도 변화를 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다.
설치 방법
우리는 커넥터를 표준화하여 제공합니다. 그래서 전체 배선을 다시 연결할 필요 없이 그냥 램프를 설치할 수 있습니다. 이렇게 하면 많은 번거로움을 줄일 수 있습니다. 또한 석영 표면을 고도로 연마하여 ‘핫 스팟’이 생기는 것을 방지합니다. 이렇게 하면 램프가 조기에 고장나는 것을 막을 수 있습니다.
고진공 시스템을 사용하는 경우, 반드시 냉각 장치를 점검해야 합니다. 이러한 램프들은 엄청난 양의 에너지를 목표물에 전달하기 때문에, 램프의 끝부분이 너무 뜨거워져 저가형 전선이 녹을 수 있습니다. 그러니 고온에 견딜 수 있는 전선을 사용해야 합니다.