진공 챔버용 적외선 히터

진공 챔버를 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 아주 사소한 실수라도 큰 문제가 될 수 있습니다. 조금만 먼지가 들어가거나 가열 과정 중에 화학 가스가 새어 나와도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 이러...