세척 챔버를 오븐으로 만드는 것을 그만두세요.
대부분의 적외선 히터는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 즉, 360도 전방위로 열이 퍼지죠. 좁은 반도체 세척 챔버에서는 이런 상황이 문제를 야기합니다.
열이 사방으로 퍼지면 기계의 내벽도 그 열을 흡수하게 됩니다. 곧 기계의 외부 부품들이 손상되고, 작업자가 안전하게 기계를 만질 수 없을 정도로 과열됩니다. 정말 엉망이 되는 거죠.
이 문제는 방향성을 가진 적외선 램프를 사용함으로써 해결할 수 있습니다.
실제 작동 원리
마치 손전등의 빛을 집중시키는 것과 같습니다. 이 램프들은 반사재나 특수 코팅을 사용하여 열을 정확히 원하는 곳, 즉 작업물에 전달합니다.
공기나 기계 프레임을 가열하는 데 에너지를 낭비하는 대신, 에너지는 직접 작업물에 도달합니다. 그래서 웨이퍼의 표면 온도를 원하는 수준으로 유지할 수 있으며, 기계의 다른 부분들이 과열되는 것도 방지됩니다. 훨씬 효율적인 방법이죠.
습한 환경에서의 문제 해결
세척 스테이션은 본질적으로 습한 곳입니다. 물과 고전압의 열이 만나면 문제가 생깁니다.
수분이 뜨거운 석영 램프에 닿거나 단자로 들어가면 램프가 파손될 수 있습니다. 그래서 우리는 램프를 철저히 밀폐합니다. 연결 부위에는 내구성이 뛰어난 밀봉제를 사용하여 단락을 방지하고 필라멘트가 산화되는 것을 막습니다. 이러한 설계 덕분에 높은 습도 환경에서도 램프가 손상되지 않습니다.
단점 및 해결 방법
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 열을 집중시키기 때문에 목표물 부근의 온도가 매우 높아집니다.
이로 인해 기계의 내벽은 보호될 수 있지만, 램프의 위치를 잘못 설정하면 부품에 과열된 부분이 생길 수 있습니다. 따라서 램프를 설치할 때는 정확한 위치를 선택해야 합니다.
좋은 소식은, 이 램프들은 기존 세척 모듈을 대체할 수 있도록 설계되었다는 것입니다. PID 컨트롤러와 연동하여 온도를 일정하게 유지하기만 하면 됩니다. 그러면 공정이 계속해서 안정적으로 진행되고, 작업자들도 안전하게 작업할 수 있습니다. 아주 간단합니다.