Hãy ngăn chặn hệ thống sấy khô wafer của bạn biến thành một “lò nướng” thực sự.
Vấn đề với các bóng đèn hồng ngoại là chúng phát ra nhiệt lượng theo mọi hướng – 360 độ. Trong quy trình sản xuất bán dẫn, bất kỳ lượng nhiệt nào không chiếu trực tiếp vào wafer đều là lãng phí. Nhưng còn tồi tệ hơn nữa: năng lượng dư thừa đó buộc phải đi đâu đó, và nó sẽ va vào các bức tường bên trong máy. Chúng tôi đã chứng kiến rất nhiều trường hợp mà thân máy trở nên quá nóng, gây nguy cơ bỏng cho người vận hành. Đó không phải là môi trường làm việc lý tưởng chút nào.
Đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các tấm phản xạ chính xác để chiếu trả nhiệt lượng đó vào wafer. Thay vì để nhiệt lượng lan tỏa khắp nơi, tấm phản xạ sẽ tập trung năng lượng hồng ngoại vào một chùm ánh sáng nhỏ, chiếu trực tiếp vào wafer. Nhờ vậy, năng lượng được tập trung đúng nơi cần thiết. Vì vậy, các bức tường bên trong máy vẫn giữ được độ lạnh. Người vận hành có thể chạm vào bề mặt ngoài của máy mà không lo bị bỏng.
Lựa chọn vật liệu phù hợp
Chúng tôi thường sử dụng vật liệu bằng nhôm có độ tinh khiết cao hoặc vật liệu được phủ vàng. Vàng là chất liệu lý tưởng cho bóng đèn hồng ngoại vì nó có khả năng phản xạ nhiệt lượng tốt hơn, đồng thời không bị oxi hóa khi nhiệt độ tăng cao. Nếu sử dụng bóng đèn công suất cao, tấm phản xạ sẽ chịu áp lực lớn. Chúng tôi chọn những vật liệu có khả năng chịu được sự giãn nở nhiệt mà không bị biến dạng. Nếu tấm phản xạ bị cong, điểm tập trung nhiệt sẽ thay đổi, dẫn đến việc wafer không được sấy khô đều, và việc khắc phục điều này rất khó khăn.
Những đánh đổi cần lưu ý
Việc tập trung nhiệt lượng giúp giải quyết vấn đề an toàn, nhưng nó cũng gây áp lực lớn lên wafer. Bạn sẽ nhận thấy thời gian sấy khô wafer được rút ngắn đáng kể. Điều này rất tốt, nhưng cũng có những hạn chế. Nếu hệ thống kiểm soát nhiệt độ không được điều chỉnh phù hợp, nhiệt độ có thể vượt quá mức mong muốn. Bạn cần kiểm tra lại độ chính xác của cảm biến để đảm bảo rằng nhiệt lượng được kiểm soát tốt. Ngoài ra, hãy kiểm tra các quạt làm mát để đảm bảo rằng không có nhiệt lượng dư thừa tích tụ xung quanh các bóng đèn.