Giữ cho phòng sạch loại Class 100 luôn sạch sẽ
Nếu bạn đang vận hành một phòng sạch loại Class 100, chắc hẳn bạn biết rõ cảnh tượng khó chịu khi có các hạt bụi xuất hiện trong phòng. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ hoặc chút khí thải từ các bộ phận gia nhiệt cũng đủ khiến chất lượng sản xuất chip bị giảm sút. Điều này thật đáng phiền lòng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi ngừng sử dụng các bộ phận gia nhiệt thông thường và chuyển sang sử dụng các ống thạch anh có độ tinh khiết cao, được phủ lớp phản xạ bằng vàng.
Tại sao vàng lại quan trọng?
Hầu hết các đèn hồng ngoại chỉ phát nhiệt ra mọi hướng. Nhưng trong các thiết bị sản xuất chip, việc này là lãng phí. Bạn chỉ quan tâm đến lượng nhiệt chiếu vào wafer mà thôi. Vì vậy, chúng tôi phủ một lớp vàng mỏng lên mặt sau của ống thạch anh. Lớp vàng này hoạt động như một tấm gương, giúp chuyển hướng toàn bộ năng lượng hồng ngoại về phía trước. Kết quả là bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng, mà không cần tăng công suất đèn. Hơn nữa, vàng có tính hóa học ổn định; nó không bị oxi hóa hay bong tróc, giúp duy trì mục tiêu “không ô nhiễm” của phòng sạch.
Vấn đề về bụi và nhiệt độ
Chúng tôi vẫn sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao, vì nó giúp ngăn chặn sự di chuyển của các tạp chất khi nhiệt độ tăng cao. Những chiếc đèn này được thiết kế để chịu được các chu kỳ nhiệt độ cao mà không bị hư hỏng.
Nhưng cần lưu ý rằng lớp vàng phản xạ năng lượng mạnh, vì vậy nhiệt độ ở mặt trước của đèn khá cao. Hãy đảm bảo rằng các bộ phận làm mát được lắp đặt đúng cách. Nếu không, thạch anh có thể bị quá nhiệt ở hai đầu.
Cách lắp đặt và bảo trì
Chúng tôi thiết kế các linh kiện này sao cho có thể thay thế một cách dễ dàng. Bạn không cần lo lắng về việc các hạt bụi lọt vào phòng sạch trong quá trình lắp đặt.
Một mẹo nhỏ về việc kết nối dây điện: hãy đảm bảo nguồn điện ổn định. Những dao động điện áp có thể làm hỏng filamen của đèn trước thời hạn.
Nếu bạn nhận thấy công suất đèn giảm, có lẽ do có bụi bám trên bề mặt thạch anh. Hãy sử dụng dung dịch rửa chuyên dụng để làm sạch chúng.
Xin lưu ý: đừng sử dụng các vật liệu mài mòn. Chúng sẽ làm xước lớp phủ vàng, tạo ra chính những hạt bụi mà bạn muốn loại bỏ. Hãy sử dụng các vật liệu mềm để làm sạch.