Sưởi ấm bằng tia hồng ngoại so với sử dụng không khí nén: Phương pháp nào thực sự hiệu quả cho nhà máy sản xuất của bạn?
Nếu bạn vẫn sử dụng phương pháp sưởi ấm bằng không khí nóng để xử lý các chi tiết bán dẫn, có lẽ bạn đang lãng phí rất nhiều thời gian chỉ để chờ đợi cho đến khi môi trường xung quanh đạt được nhiệt độ cần thiết. Đây là một phương pháp chậm chạp và kém hiệu quả. Bạn phải chờ đợi trong thời gian dài, trong khi đó nhiệt độ vẫn chưa đạt mức mong muốn.
Ngược lại, phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại hoàn toàn khác. Phương pháp này không cần quan tâm đến không khí xung quanh; nó trực tiếp truyền năng lượng vào chính bề mặt vật liệu cần xử lý. Điều này giúp việc xử lý diễn ra nhanh chóng. Và điều đó thay đổi hoàn toàn quy trình sản xuất của bạn. Thay vì phải chờ đợi hàng phút để môi trường đạt nhiệt độ cần thiết, bạn chỉ cần vài giây thôi.
Khi có khả năng kiểm soát nhiệt độ như vậy, bạn sẽ không còn lo lắng về vấn đề lan truyền chất pha tạp hay hiện tượng biến dạng của wafer nữa. Bạn chỉ cần tập trung vào việc hoàn thành công việc mà thôi.
Tuy nhiên, bạn không thể đơn giản là đặt một chiếc bóng đèn công suất cao vào nhà máy và coi như xong. Bóng đèn sẽ nhanh chóng hỏng do áp lực nhiệt. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng lớp vỏ bảo vệ bằng thủy tinh thạch anh. Chúng ta sử dụng thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao, vì loại thủy tinh này gần như không bị ảnh hưởng bởi tia hồng ngoại ngắn sóng. Nhiệt lượng có thể đi xuyên qua lớp vỏ này, nhưng bóng đèn thì vẫn được bảo vệ an toàn.
Tuy nhiên, lớp vỏ bảo vệ này cũng bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ. Nếu bạn sử dụng loại thủy tinh thạch anh kém chất lượng, nó sẽ nhanh chóng bị nứt vỡ. Rất đơn giản thôi.
Tôi không nói rằng phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại là giải pháp hoàn hảo. Nó cũng có những hạn chế riêng. Vì tia hồng ngoại có tính chất hướng từ, bạn cần phải chú ý kỹ đến vị trí đặt bóng đèn. Nếu sai sót vài milimét thôi, bạn sẽ gặp phải tình trạng nhiệt độ không đồng đều trên bề mặt wafer, và điều này rất khó khắc phục.
Bạn cần phải tính toán chính xác vị trí của bóng đèn và khoảng cách giữa bóng đèn và vật liệu cần xử lý để đảm bảo nhiệt độ đồng đều. Ngoài ra, bạn cần có hệ thống làm mát hiệu quả để kiểm soát nhiệt độ cao trong khu vực xử lý. Nếu không, vỏ máy sẽ bị biến dạng.
Dù cần có sự lên kế hoạch kỹ lưỡng, nhưng tốc độ xử lý mà phương pháp này mang lại thì thực sự rất ấn tượng.