Hãy quan sát cảnh tấm wafer có kích thước 300 mm lăn ra khỏi đường ray và vào buồng nung. Lớp phủ quang học cần được đưa đến nhiệt độ mong muốn – một cách đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer. Nếu có sự chênh lệch nhiệt độ 1°C ở các vùng khác nhau, hoặc nếu có điểm lạnh xuất hiện ở mép wafer, thì việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer sẽ bị ảnh hưởng. Lúc đó, quy trình sản xuất sẽ phải dừng lại.
Những yếu tố quan trọng trong quy trình nung Chúng tôi thiết kế hệ thống nung dựa trên nguyên lý làm nóng theo từng vùng riêng biệt; các bộ phận làm nóng này hoạt động nhanh chóng và giúp duy trì độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer. Trong quá trình nung, hệ thống giữ cho nhiệt độ ở mức ổn định trong khoảng ±0,1°C. Nhờ vậy, lớp phủ quang học được bảo vệ tốt, và không xảy ra hiện tượng sóng nhiệt.
Các nguồn nhiệt từ thạch anh và tia hồng ngoại ngắn bước sóng giúp truyền nhiệt nhanh chóng và hiệu quả, với lượng hạt bụi gây ô nhiễm rất ít. Bộ điều khiển theo dõi từng vùng một một cách tức thì, nhờ đó có thể khắc phục các hiệu ứng do sự chênh lệch nhiệt độ giữa các vùng khác nhau.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong môi trường sản xuất thực tế? Trong các phòng sạch loại 1–100, lượng hạt bụi là yếu tố cực kỳ quan trọng. Các bộ phận làm nóng theo từng vùng này không tạo ra bụi bẩn trong quá trình nung, nhờ đó tỷ lệ sản phẩm thành công vẫn được duy trì ở mức cao. Kết quả là, độ chính xác trong quy trình nung được nâng cao, số lượng sản phẩm phải được sửa chữa giảm đi, và bạn có thể lập kế hoạch vận hành máy móc 24/7 mà không gặp vấn đề gì.
Những chi tiết cần chú ý để đảm bảo hiệu quả Việc tích hợp các bộ phận vào hệ thống nung đòi hỏi phải đảm bảo sự phù hợp giữa kích thước buồng nung, dòng khí và khả năng thoát khí. Các thiết bị thạch anh và các bộ phận khác cũng cần được kiểm tra xem có tương thích với bản đồ nhiệt độ mới hay không.
Hãy tiến hành một cuộc kiểm tra ngắn để điều chỉnh các thông số liên quan đến việc làm nóng. Một khi mọi thứ đã được điều chỉnh ổn định, quy trình sản xuất sẽ diễn ra liên tục, dù là trong các ca làm việc khác nhau, hay khi nhiệt độ môi trường thay đổi theo mùa.