Trên dây chuyền sản xuất có kích thước 300mm, lò nung có vẻ hoạt động ổn định, nhưng độ dày lớp phim quang hóa vẫn bị thay đổi sau quá trình nung mềm. Điều này dẫn đến sự thay đổi về chiều rộng của các đường kẻ trên wafer, và nguyên nhân chính là do sự không đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer.
Thường thì nguyên nhân nằm ở bóng đèn sấy – các thành phần của bóng đèn bị lão hóa, công suất phát sáng thay đổi, và các điểm nóng mà bộ điều khiển không thể khắc phục được.
Điều quan trọng nhất là gì? Bóng đèn sấy dùng trong máy DNS sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại tầng sóng ngắn được tích hợp trong cấu trúc thạch anh. Điều này giúp việc gia nhiệt diễn ra nhanh chóng và đồng đều, với độ chính xác trong khoảng ±0,1°C.
Công suất phát sáng của bóng đèn vẫn ổn định qua hàng nghìn lần sấy, giúp quá trình nung diễn ra chính xác theo tiêu chuẩn đã đặt ra. Thiết bị này được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch cấp độ 1–100, và toàn bộ hệ thống được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào. Các bề mặt và linh kiện được chọn lựa kỹ lưỡng để tránh tình trạng rơi vãi hạt bụi.
Công suất phát sáng của bóng đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ hoạt động, với độ sai lệch công suất dưới 5%. Điều này giúp giảm số lần phải tái kiểm tra và thay thế linh kiện.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn? Quá trình nung mềm và nung cứng giúp kiểm soát hàm lượng dung môi trong lớp phim quang hóa, khả năng bám dính của lớp phim, cũng như độ chính xác của kích thước các đường kẻ trên wafer. Khi quy trình nung được lặp đi lặp lại, việc loại bỏ các sản phẩm lỗi do sự không đồng đều về nhiệt độ sẽ được giảm bớt.
Độ đồng đều cao hơn giúp giảm số lần phải sửa chữa sau quá trình khắc, từ đó tăng tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng cao. Việc phản ứng nhiệt nhanh cũng giúp giảm mức năng lượng cần thiết để nung wafer. Thời gian sử dụng bóng đèn dài cũng giúp tránh tình trạng gián đoạn sản xuất do hỏng hóc.
Những điều cần chú ý ngay từ đầu: Việc lắp đặt bóng đèn yêu cầu phải đảm bảo rằng bóng đèn phù hợp với kích thước của buồng sấy và đường đi ánh sáng. Chúng ta cần xác định rõ loại kết nối, điện áp và cách làm mát trước khi lắp đặt.
Bóng đèn cần được đặt trong môi trường có nhiệt độ phù hợp. Nếu nhiệt độ vượt quá giới hạn cho phép, tuổi thọ của bóng đèn sẽ bị giảm.
Ngoài ra, cần có kế hoạch bảo trì định kỳ để đảm bảo độ chính xác của bóng đèn. Nếu không, độ đồng đều của lớp phim quang hóa sẽ không được đảm bảo.